二、東元伺服在固晶機(jī)的應(yīng)用
       固晶機(jī)上總共采用4套200W伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分別控制X,Y軸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及鍵合臂取晶動(dòng)作。其中要求的為控制鍵合臂的100W伺服。

三、伺服動(dòng)作要求
       100W伺服電機(jī)通過(guò)同步帶帶動(dòng)連桿快速正反轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時(shí)針和順時(shí)針?lè)较蛭灰?，逆時(shí)針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時(shí)針固定晶圓。此動(dòng)作要求：1.快速定位時(shí)，馬達(dá)要平穩(wěn)，不能抖動(dòng)，否則吸晶和固晶的位置會(huì)不準(zhǔn)確；2.客戶(hù)要求每個(gè)動(dòng)作周期盡量的快，由此對(duì)伺服的響應(yīng)有較高要求。 
通過(guò)伺服增益參數(shù)的調(diào)整，終可以實(shí)現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內(nèi)完成整定，整個(gè)固晶周期為245msec/顆，獲得客戶(hù)的認(rèn)可。 
伺服參數(shù)設(shè)定：